iPHEMOS-DD倒置微光顯微鏡是一款半導體失效分析系統(tǒng)，通過檢測半導體裝置缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準確定位半導體器件的失效位置。利用其的倒置型設計，能夠便捷地進行樣品backside觀察與分析，將樣品直接連接到測試機上，再把測試機架裝到設備上方能夠有效減少線纜長度，這使得高頻驅動樣品的分析成為可能，這種直接架裝方式可用于點針偵測12英寸wafer，也可用來偵測封裝好的樣品。  

詳細參數(shù):

產(chǎn)品結構:

● 同時加裝兩臺高靈敏度相機，能夠同時完成光發(fā)射和熱發(fā)射偵測

● 設備可以加載多種激光

● 鏡頭切換轉塔可以加裝10種不同鏡頭

產(chǎn)品配置（可選配）:

● 激光掃描系統(tǒng) 

● 高靈敏度近紅外相機進行光發(fā)射分析 

（根據(jù)客戶樣品特點對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）

● 高靈敏度中紅外Thermal相機進行熱分析 

● 激光誘導阻值變化分析（OBIRCH）

● D-lock in

● Thermal Lock in

● EOP/EOFM

● Tilt Stage

● Nano Lens 進行高分辨率、高靈敏度分析 

● Navigation功能

● 連接測試機進行動態(tài)分析

● Laser Marker

連接示例: